扩散硅压力变送器是一种常见的压力测量设备,其结构图包括以下几个主要部分:
1. 压力感应元件:扩散硅压力变送器的核心部件之一,通常采用硅芯片制成。硅芯片上有微小的压力敏感结构,当受到外界压力作用时,硅芯片会产生微小的形变,进而改变电阻值或电容值,从而实现对压力的测量。
2. 信号处理电路:用于接收从压力感应元件传来的信号,并进行放大、滤波、线性化等处理,以保证输出信号的稳定性和准确性。信号处理电路通常包括放大器、滤波器、模数转换器等部件。
3. 外壳结构:用于保护压力感应元件和信号处理电路,同时具有耐腐蚀、耐高温等特性。外壳结构通常由不锈钢、钛合金等材料制成,同时具有一定的密封性,以防止外界环境对内部电路的影响。